產品型號：STGC-80-12
爐管尺寸：Φ80×1000mm
額定溫度：1200℃
控溫精度：±1℃
應用領域：化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料
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1200℃管式爐化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料
1、外殼采用金屬Q235低碳鋼，表面靜電耐藥涂裝，抗腐蝕
2、 堅固的雙層金屬框架配合隔熱風扇結構，爐表面溫度低
3、水平使用方式，上開蓋結構，操作方便
多層隔熱設計，由輕質氧化鋁陶瓷纖維和高品質隔熱板背襯組成，不含石棉成分，熱損失小，能耗低
1、高品質HRE螺旋電阻絲發熱體，牢固的鑲嵌在爐膛表面，在爐腔內自由熱輻射加熱，使用壽命長
2、電阻絲環形加熱，從而實現爐內的良好均勻性
1、PID配合SSR控制方式，溫度控制準確
2、國際標準化N型鎳鉻硅熱電偶，測溫范圍0-1300℃，使用壽命長
3、爐門帶有開門斷電保護開關
1、適應復雜工藝需求的的控制器
2、操作簡單直接，編程靈活
3、可編程4條曲線，單條曲線8個程序段
4、超溫和故障報警，自動進行保護
1、帶有304不銹鋼的密封法蘭，獲得爐管內的真空或者氣氛
2、高品質石英玻璃工作管，也可選擇金屬或剛玉材質的工作管，從而適應不同的工況
3、高性能雙極旋片真空泵，可獲得5pa的真空度，數字真空計可顯示真空度
4、帶有氣路控制單元，控制單元可選擇1-3路MFC自動控制系統
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型號 |
STGC-25-12 |
STGC-40-12 |
STGC-60-12 |
STGC-80-12 |
STGC-100-12 |
STGC-120-12 |
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爐管尺寸 |
Φ25 x 800mm |
Φ40 x 1000mm |
Φ60 x 1000mm |
Φ80 x 1000mm |
Φ100 x 1000mm |
Φ120 x 1000mm |
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額定溫度 |
1200℃ |
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工作溫度 |
1100℃ |
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加熱區尺寸 |
440mm |
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電源電壓 |
220V/1.8KW |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/5KW |
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加熱元件 |
?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? HRE合金電阻絲 |
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爐膛材料 |
濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料 |
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爐管材料 |
石英管 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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測溫元件 |
N型熱電偶 |
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溫控儀表 |
智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數自整定功能；可編程序4組8個程序段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 |
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升溫速度 |
1-25℃/min自由調節 |
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爐體結構 |
爐膛溫控一體式結構，爐膛開合式；雙層外殼，空氣循環隔熱 |
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密封性能 |
爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進行工作， 真空度≤5pa（旋片式真空泵） |
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氣氛性能 |
法蘭兩端有進氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調節進氣和出氣量，可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體 |
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設備保護 |
模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發出聲光報警信號，并自動完成保護動作 |
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人員保護 |
在設備上裝有空開斷路器，如發生短路漏電情況時會自動彈開，能保護設備和操作人員 |
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外殼 |
優質冷軋鋼板數控機床下料加工，經過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 |
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質量認證 |
ISO9001?? CE??? SGS?? TUV |
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標準配置 |
1、爐體1臺? 2、溫度控制器1臺?? 3、電源線3米?? 4、熱電偶1支? 5、說明書1份? 6、爐鉤1把? 7、高溫手套1雙???? 8、管堵2個???? 9、密封法蘭1套 |
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選裝配件 |
1、選配旋片式真空泵（真空度≤5pa）2、選裝數字真空計（1.0×105-1.0×10-1pa）3、選裝浮子流量計（量程60-600ml/min） 4、選配石英舟??? |
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1、產品的制造和檢測嚴格按相關標準執行，并有質量記錄可査;每臺設備都有唯一的制造編號，并建立用戶檔案。
2、所有產品均可通過權威的第三方檢測機構檢測;也可委托我方代為辦理，費用另計。
3、交貨期承諾: 按合同約定執行;如有特殊原因需提前交貨的，我公司在條件允許的情況下特別組織生產，力爭滿足用戶需求。
1、產品的制造和檢測嚴格按相關標準執行，并有質量記錄可査;每臺設備都有唯一的制造編號，并建立用戶檔案。
2、所有產品均可通過權威的第三方檢測機構檢測;也可委托我方代為辦理，費用另計。
3、交貨期承諾: 按合同約定執行;如有特殊原因需提前交貨的，我公司在條件允許的情況下特別組織生產，力爭滿足用戶需求。
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